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双三甲基硅烷基三氟乙酰胺

来源:化工产品网-原创 发布时间:2023-12-21 12:58:53
双三甲基硅烷基三氟乙酰胺

双三甲基硅烷基三氟乙酰胺,也称为TMDSF,是一种有机硅化合物。它的分子式为C11H21F3NO2Si2,分子量为357.49g/mol。

TMDSF是一种无色液体,具有很强的亲水性和极性。它可以被用作表面活性剂、润湿剂和粘合剂。在半导体工业中,TMDSF也被广泛应用于沉积硅氧化物的化学气相沉积(CVD)过程中。

在化学反应中,TMDSF可以作为硅源,通过热分解产生二甲基硅烷和三甲基硅烷等中间体,最终生成SiO2。

TMDSF的合成方法比较简单,通常是通过三甲基硅烷和三氟乙酰胺反应得到。该反应通常在惰性气氛下进行,以避免氧化和水解反应的发生。

总之,TMDSF是一种重要的有机硅化合物,具有广泛的应用前景。随着科学技术的不断发展,TMDSF的应用领域将会越来越广泛。


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